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晶圓生產(chǎn)完成后，需要對其進行各種參數(shù)的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設備。
PTXF半導體溫控系統(tǒng)基于高級動態(tài)控制系統(tǒng)，同時采用進口鉑電阻溫度傳感器，每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
載物Chuck高低溫測試機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。
DLS載物臺控溫系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清液晶屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
PTHC探針臺高低溫設備采用全密閉式系統(tǒng)設計，整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會直接與空氣接觸，延長了導熱油使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性
PTHF探針臺控溫設備采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統(tǒng)的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積）。
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